Аналитическая система для рентгеновского анализа: рефлектометрия, дифрактометрия, рефрактометрия, малоугловое рассеяние, абсорбционная спектрометрия и рентгенофлуоресцентный анализ в одном приборе. Уникальный прибор для современных исследований в области материаловедения и нанотехнологий.
Шесть основных методов измерений
• рефлектометрия
• дифрактометрия
• рентгеновский флуоресцентный анализ
• рефрактометрия
• малоугловое рассеяние
• измерение спектров поглощения
Определяемые характеристики
толщина тонких слоев (1 - 300 нм)
параметры кристаллической решетки монокристаллов и поликристаллов (от 0.1 нм)
плотность поверхностных слоев
период многослойных структур (от 0.5 нм)
размеры и концентрации нано - частиц и нано - пор диаметром 1-50 нм
элементный состав образцов


